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TMC地面式主動(dòng)隔振平臺(tái)STACIS Quiet Island
半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對(duì)振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測(cè)和計(jì)量設(shè)備。活動(dòng)地面無(wú)法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動(dòng)地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺(tái)頂部和一個(gè)應(yīng)用和現(xiàn)場(chǎng)特定的支撐結(jié)構(gòu)。
消振
Quiet Island*有的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動(dòng)消振系統(tǒng)中。這種“剛性"式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動(dòng)敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以最高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。STACIS III兼容自動(dòng)化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動(dòng)或主動(dòng)內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具（請(qǐng)參閱我們關(guān)于在主動(dòng)隔振器上堆疊主動(dòng)隔振器的*皮書(shū)）。此外，它還提供了最寬頻率范圍內(nèi)的最大隔振性能。并且“硬安裝"設(shè)計(jì)非常堅(jiān)硬，因此對(duì)于較高、上重下輕的工具，不會(huì)出現(xiàn)穩(wěn)定性問(wèn)題。
立管和支架
用于支撐STACIS隔振器的極其堅(jiān)固耐用的立管由TMC經(jīng)驗(yàn)豐富的工程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)，并由我們的ISO 9001工廠按照高標(biāo)準(zhǔn)和焊接認(rèn)證規(guī)格制造。每個(gè)Quiet Island都經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，適合各種活動(dòng)地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在全球安裝了數(shù)千個(gè)支撐200多種不同儀器型號(hào)的裝置，擁有豐富的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，可以設(shè)計(jì)滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。
剛性平臺(tái)
該平臺(tái)由一個(gè)經(jīng)TMC設(shè)計(jì)和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹(shù)脂粘合到一個(gè)無(wú)縫不銹鋼盤中的分層效果提供了*高的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個(gè)連續(xù)的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計(jì)和制造特定于應(yīng)用的平臺(tái)，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。
TMC地面式主動(dòng)隔振平臺(tái)STACIS Quiet Island的Quiet Island的優(yōu)勢(shì)
采用STACIS - TMC業(yè)界*先的主動(dòng)壓電消振技術(shù)、“硬安裝"設(shè)計(jì)和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。
模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個(gè)平臺(tái)都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺(tái)不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺(tái)可以很容易地重新進(jìn)行配置。
專業(yè)知識(shí) - TMC擁有與*界*先的半導(dǎo)體制造商、科研機(jī)構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗(yàn)。我們了解客戶及其需求。我們自己設(shè)計(jì)和制造。
性能
在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、來(lái)自地面的VC-C輸入下測(cè)量傳遞率
性能規(guī)格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（減少10:1） | 0.3秒 |
內(nèi)部噪音 | <0.1 nm="" rmsd=""> |
每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) | <0.02 g="" broadband="" rmsd=""> |
隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地面振動(dòng) |
隔振器尺寸（寬x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 |
隔振器重量 | 75磅（34千克） |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲(chǔ)存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <480μin. below="" 10hzd=""> |
每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量 | 至少3個(gè) |
可選附件 | 層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩 |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
后面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 |
其他參數(shù)
平臺(tái)表面 | 不銹鋼表面頂部和側(cè)面； |
平臺(tái)結(jié)構(gòu) | 專有的多層層壓鋼板 |
尺寸 | 量身定制 |
標(biāo)準(zhǔn)高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸 |
負(fù)載能力 | 量身定制 |
剛性立管和支架 | 獲認(rèn)證的焊接、全鋼結(jié)構(gòu)， |
可選附件 | 限制支架、平臺(tái)頂部吊環(huán)螺栓， |
平臺(tái)頂部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔 |
其他Quiet Island配置
不具有環(huán)境振動(dòng)規(guī)格的大型儀器通常需要一個(gè)與活動(dòng)地面分開(kāi)的剛性且穩(wěn)定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺(tái)頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動(dòng)地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計(jì)。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級(jí)的解決方案。
應(yīng)用照片
由于安裝在我們Quiet Island®底層地面平臺(tái)上設(shè)備的復(fù)雜性、敏感性和價(jià)值，我們未創(chuàng)建用于訂購(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)目錄號(hào)。我們認(rèn)為應(yīng)為特定應(yīng)用定制設(shè)計(jì)每個(gè)平臺(tái)。建議的訂購(gòu)步驟如下：
●告訴我們您要隔離的設(shè)備或儀器。由于我們已安裝了成千上萬(wàn)的裝置，我們可能已有滿足您應(yīng)用要求的平臺(tái)設(shè)計(jì)。此外，我們還與步進(jìn)器、對(duì)準(zhǔn)器、SEM和其他工具制造商保持密切聯(lián)系，因此，我們了解最新的尺寸、形狀、重量變化和地面振動(dòng)規(guī)格。
●或者，您可能想要一個(gè)適合活動(dòng)地面網(wǎng)格系統(tǒng)的平臺(tái)。客戶通常選擇47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平臺(tái)來(lái)替換偶數(shù)塊地磚。
●告訴我們您的活動(dòng)地面高出堅(jiān)實(shí)底層地面的高度。
●請(qǐng)向我們描述或提供一個(gè)顯示您底層地面或鋼梁/格子板幾何形狀中的任何孔圖案的插圖。
●請(qǐng)向我們提供地面振動(dòng)數(shù)據(jù)或與我們討論如何安排測(cè)量這些數(shù)據(jù)。
●考慮儀器的振動(dòng)靈敏度。我們的剛性、非共振支柱設(shè)計(jì)為許多工具提供了充分的支撐。更敏感的應(yīng)用將需要空氣或壓電支撐
